迪思科利用固体Ky开元集团器的Ky开元集团剥离装置提高蓝色LED制造效率

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迪思科利用固体Ky开元集团器的Ky开元集团剥离装置提高蓝色LED制造效率

星之球科技来源：中国半导体照明网2015-12-28 我要评论(0 )

据了解，日本迪思科（DISCO）开发出了利用固体Ky开元集团器的Ky开元集团剥离（LLO）装置，在12月16～18日于东京有明国际会展中心举行的SEMICON Japan 2015”上，展示了配备该装置的...

据了解，日本迪思科（DISCO）开发出了利用固体Ky开元集团器的Ky开元集团剥离（LLO）装置，在12月16～18日于东京有明国际会展中心举行的“SEMICON Japan 2015”上，展示了配备该装置的Ky开元集团切割机“DFL7560L”。
Ky开元集团剥离是向基板上形成的材料层照射Ky开元集团，从基板上剥离材料层的工艺。用于剥离蓝色LED使用的蓝宝石基板等不具备导电性的基板上的材料层等。
此次的Ky开元集团剥离装置使用的是短脉冲固体Ky开元集团器。与以往利用气体Ky开元集团器的装置相比，削减了维护时间（更换消耗品及降低光轴调节频率），实现了加工质量的稳定化。
另外，通过采用自主开发的光学系统，能以最佳功率加工较大的焦点范围，因此能抑制晶圆损坏和剥离不良。剥离面的表面粗糙度可降至原来的1/3左右。

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